西川 明 | (株)アイテス半導体故障解析

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概要

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関連著者

• 西川 明

  (株)アイテス半導体故障解析

• 加藤 直子

  株式会社アイテス品質技術部

• 加藤 直子

  (株)アイテス 技術事業部 品質技術部

• 加藤 直子

  アイテス 技術事業部

• 坂 公恭

  名古屋大学工学部

• 芳井 熊安

  大阪大学大学院工学研究科

• 安武 潔

  大阪大学 大学院工学研究科

• 吉井 熊安

  大阪大学工学部

• 清水 正男

  (株)日本アイ・ビー・エム

• 清水 正男

  日本アイ・ビー・エム(株)

• 松澤 寿一

  (株)アイテス半導体故障解析

• 清水 正男

  大阪大学大学院工学研究科

• 文 承啓

  日本アイ・ビー・エム(株)

• 阿武 潔

  大阪大学大学院工学研究科

• 西川 明

  株式会社アイテス

• 小谷 知世

  株式会社アイテス

• 三浦 伸仁

  株式会社アイテス

• 河野 好映

  日本アイ・ビー・エム株式会社

• 芳井 熊安

  大阪大学工学部精密工学科

• 松澤 寿一

  株式会社アイテス

• 坂 公恭

  名古屋大学

• 清水 正男

  日本アイ・ビー・エム株式会社

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著作論文

• FIB加工によるピンポイントTEM観察 半導体故障解析への応用
• 超音波振動による発生したシリコン転位の電子顕微鏡観察
• 半導体素子特性に対するコンタクトホール内部の残留有機物薄膜の影響
• 6-4 OBICを用いたレーザービームキャリア注入技術によるCMOS LSIの不良解析 : LIST法(Light lnduced State Transition Method)による不良解析(日本信頼性学会第9回信頼性シンポジウム)

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