加藤 隆典 | 住友重機械工業kk
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概要
関連著者
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加藤 隆典
住友重機械工業kk
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張 延平
住友重機械工業(株)
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佐藤 史郎
NHK放送技術研究所
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中西 秀和
立命館大学理工学部
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鈴木 裕之
立命館大学理工学部
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今井 茂
立命館大学理工学部
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川戸 清爾
ソニー中央研究所
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中山 泰之
立命館大理工
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中山 康之
立命館大理工
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中山 康之
立命館大学
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三木 秀二郎
立命館大学
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中山 康之
立命館大学理工学部
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三木 秀二郎
立命館大学理工学部
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杉山 弘
高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
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杉山 弘
高エ研
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安藤 正海
高エネルギー物理学研究所
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川戸 清爾
ソニー中研
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一宮 彪彦
名大工
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秋本 晃一
名大院工
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秋本 晃一
名工大
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安藤 正海
高エ研
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安藤 正海
高エネルギー加速器研究機構
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秋本 晃一
名大工
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籠島 靖
KEK-PF
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斎藤 信雄
NHK放送技術研究所
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斎藤 信雄
(株)国際電気通信基礎技術研究所
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草野 淳一
NHK放送技研
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加藤 隆典
住友重機
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篭島 靖
高エ研
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須佐美 隆行
名大工
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高橋 功
名大工
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谷川 明男
日本電気(株)マイクロエレ研
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佐々木 宗生
滋賀県工業技術総合センター
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佐々木 宗生
滋賀工技セ
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河口 昭義
立命館大学理工学部
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篭島 靖
高エ研・放射光
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籠島 靖
高エネルギー物理学研究所
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篭島 靖
姫工大院・理・物質科学
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野々垣 陽一
岡崎国立共同研究機構分子科学研究所
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宇理須 恒雄
岡崎国立共同研究機構分子科学研究所
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谷川 明男
Nec
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斉藤 信雄
Nhk放送技術研究所
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河口 昭義
立命館大 理工
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杉山 弘
高エネルギー加速器研究機構・放射光研究施設
著作論文
- 1p-D-8 半導体成長への応用 : (1)内殻電子励起によるGaAsの構造変化 : (2)X線波動場による薄膜成長制御
- 放射光アブレーションによるフラーレン薄膜の作製
- 放射光アデレーションによるポリパラフェニレン薄膜の作製
- 微細転写成形技術の開発 (プラスチック機械特集)
- 放射光ドライエッチングによるテフロンのマイクロ加工(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- 放射光による物作り-ミクロンからナノへ-
- TIEGA技術を用いた三次元微細加工
- 放射光による微細加工技術(TIEGA) (精密技術小特集)
- 放射光エッチングによる高アスペクト比微細加工 : TIEGA
- シンクロトロン放射光によるテフロンの高アスペクト比微細加工--TIEGA
- SR光反応加工(EUV基盤技術とその応用の現状)
- 放射光励起によるテフロンの微細加工と薄膜形成
- 利用実験:放射光によるGaAsの内殻電子励起効果
- シンクロトロン放射光誘起反応を用いたテフロンの微細加工及び薄膜形成