張 延平 | 住友重機械工業(株)
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概要
関連著者
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張 延平
住友重機械工業(株)
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加藤 隆典
住友重機械工業kk
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杉山 進
立命館大学理工学部
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杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
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上野 洋
立命館大学
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野々垣 陽一
岡崎国立共同研究機構分子科学研究所
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宇理須 恒雄
岡崎国立共同研究機構分子科学研究所
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保坂 誠
立命館大学
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井上 泰伸
立命館大学
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杉山 進
立命館大学
著作論文
- 小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討
- 放射光による物作り-ミクロンからナノへ-
- 放射光エッチングによる高アスペクト比微細加工 : TIEGA
- シンクロトロン放射光誘起反応を用いたテフロンの微細加工及び薄膜形成
- 放射光直接照射による高品質有機薄膜の作製(放射光による応用加工技術の現状と将来)