廣川 一人 | (株)荏原製作所

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概要

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関連著者

• 檜山 浩國

  (株)荏原製作所

• 廣川 一人

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• 福田 明

  (株)荏原製作所

• 福永 明

  荏原

• 福田 明

  豊橋技科大・院

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• 福田 哲生

  富士通マイクロエレクトロニクス(株)

• 辻村 学

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• 和田 雄高

  (株)荏原総合研究所

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著作論文

• CMPにおけるウェーハエッジロールオフの影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 20114 フラッシュランプアニールの熱応力解析(機械工学が支援する先端デバイス評価技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
• CMPにおけるウェーハエッジロールオフの影響
• 20704 STI-CMPに及ぼすナノトポグラフィの影響解析 : スラリ選択比に対する許容段差の定量的評価(機械工学が支援する半導体製造技術(I),OS13 機械工学が支援する半導体薄膜製造技術)
• CMP用スラリの特性評価

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