古室 昌徳 | 産総研
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概要
関連著者
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古室 昌徳
産総研
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古室 昌徳
電子技術総合研究所
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廣島 洋
産総研
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宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
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谷口 淳
東京理科大学基礎工学部
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谷口 淳
東京理科大学
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宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
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宮本 岩男
東京理科大学
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岡山 重夫
電子技術総合研究所
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岡山 重夫
工業技術院電子技術総合研究所
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廣島 洋
電子技術総合研究所 超分子部 極限技術部 電子デバイス部
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松井 真二
兵庫県立大
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古室 昌徳
産業技術総合研究所次世代半導体センター
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宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
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古室 昌徳
(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構 電子・材料・ナノテクノロジー部
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松井 真二
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
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松井 真二
兵庫県立大高度研
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平井 義彦
阪府大
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岡野 真
電子技術総合研究所
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梶村 皓二
筑波大物質工:電総研
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岡野 真
電総研
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古室 昌徳
産総研次世代半導体
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松井 真二
姫路工業大学理学部大学院高度研crest-jst
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戸叶 雄士
東京理科大学基礎工学部
著作論文
- STM技術のマイクロエレクトロニクスへの応用(STM開発の現状と展望)
- マイクロメカニズムとしてのSTM (マイクロメカニズム)
- 第4回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議報告
- 第14回マイクロプロセス・ナノ工学国際会議報告
- ナノインプリント技術の現状と動向
- 産業技術 ナノテク微細加工の最前線 インプリントによるナノ加工
- ダイヤモンドを用いたナノインプリントリソグラフィ
- 電子線誘起金属膜堆積による微小MIMトンネル接合形成
- 圧力印加による新半導体リソグラフィー技術
- ナノインプリント技術の現状
- 集束イオンビーム装置の現状
- FIBによる極微細加工技術