大木 茂久 | Ntt 通信エネルギー研究所

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概要

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関連著者

• 大木 茂久

  Ntt 通信エネルギー研究所

• 高原 秀行

  Nttマイクロンステムインテグレーション研究所

• 高原 秀行

  Ntt通信エネルギー研究所

• 大木 茂久

  NTT通信エネルギー研究所

• 青山 肇

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)超微細sr露光技術研究室(pxl研究室)

• 松井 安次

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 高原 秀行

  Nttアドバンステクノロジ株式会社光材料技術事業ユニット

• 青山 肇

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 高原 秀行

  NTT 通信エネルギー研究所

• 鍔本 美恵子

  NTTアドバンステクノロジ

• Aoyama Hajime

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• 菊池 幸子

  超先端電子技術開発機構

• 菊池 幸子

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 松井 安次

  超先端電子技術開発機構 厚木研セ

• 立川 吉明

  NTT 通信エネルギー研究所

• 鍔本 美恵子

  NTT アドバンステクノロジ(株)

• 河尻 祐子

  NTT 通信エネルギー研究所

• 立川 吉明

  NTT通信エネルギー研究所

• 河尻 祐子

  NTT通信エネルギー研究所

• 江崎 瑞仙

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 中山 義則

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 坪井 伸二

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 渡辺 寛

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 両澤 哲男

  NTT通信エネルギー研究所

• 高橋 進

  NTTアドバンストテクノロジ

• 小田 政利

  NTT通信エネルギー研究所

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著作論文

• C-3-91 小型・低価格 CWDM システム用 1.55 μm 帯階段格子形 8ch 合分波器の検討
• C-3-150 WWDMシステム用ポリマー製階段格子形合分波器モジュール
• 高精度電子ビーム描画装置によるX線マスク描画特性

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