小田 政利 | NTT通信エネルギー研究所

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概要

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• NTT通信エネルギー研究所の論文著者

関連著者

• 小田 政利

  NTT通信エネルギー研究所

• 青山 肇

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)超微細sr露光技術研究室(pxl研究室)

• 松井 安次

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 土澤 泰

  Nttマイクロシステム研

• 大木 茂久

  Ntt 通信エネルギー研究所

• 青山 肇

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• Aoyama Hajime

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• 菊池 幸子

  超先端電子技術開発機構

• 菊池 幸子

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 松井 安次

  超先端電子技術開発機構 厚木研セ

• 大木 茂久

  NTT通信エネルギー研究所

• 江崎 瑞仙

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 中山 義則

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 坪井 伸二

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 渡辺 寛

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)超微細SR露光技術研究室(PXL研究室)

• 両澤 哲男

  NTT通信エネルギー研究所

• 高橋 進

  NTTアドバンストテクノロジ

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著作論文

• 高精度X線マスクの開発 (特集論文 ここまできたX線露光技術)
• 高精度電子ビーム描画装置によるX線マスク描画特性

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