荒井 英輔 | NTT LSI研究所

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概要

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関連著者

• 荒井 英輔

  NTT LSI研究所

• 今井 和雄

  NTT LSI研究所

• 佐藤 芳之

  Ntt Lsi研究所

• 町田 克之

  Nttシステムエレクトロニクス研究所

• 町田 克之

  NTT LSI研究所

• 細矢 徹夫

  NTT LSI研究所

• 田沢 聰

  Ntt Lsi研究所

• 鴨志田 和良

  Ntt Lsi研究所

• 佐久間 一人

  NTT LSI研究所

• 窪田 勝利

  NTT LSI研究所

• 堀口 勝治

  Ntt Lsi研

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著作論文

• ECR O_2プラズマを用いたシリコンコンタクト表面清浄化の検討
• ASIC生産管理システムのデータモデル
• SOI構造における酸化膜/シリコン界面への燐のパイルアップ現象とnウェル濃度シミュレーション
• ポリサイドゲート電極でのECR窒素プラズマによる拡散バリヤ層SiNの形成技術
• 0.5μmCMOS/BiCMOSフルカスタムLSI設計製造技術 (0.5μmCMOS/BiCMOSフルカスタムLSI設計製造技術)

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