細矢 徹夫 | NTT LSI研究所

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概要

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• 細矢 徹夫

  NTT LSI研究所

• 町田 克之

  Nttシステムエレクトロニクス研究所

• 荒井 英輔

  NTT LSI研究所

• 田沢 聰

  Ntt Lsi研究所

• 本間 芳和

  日本電信電話株式会社境界領域研究所

• 町田 克之

  NTT LSI研究所

• 今井 和雄

  NTT LSI研究所

• 枚田 明彦

  Nttlsi研究所

• 本間 芳和

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• 窪田 勝利

  NTT LSI研究所

• 秋谷 秀夫

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• 細矢 徹夫

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• 町田 克之

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著作論文

• ASIC生産管理システムのデータモデル
• ポリサイドゲート電極でのECR窒素プラズマによる拡散バリヤ層SiNの形成技術
• WSix配線技術 : ECR窒素プラズマにより形成したWSixN拡散バリア層の利用

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