佐藤 芳之 | Ntt Lsi研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• Ntt Lsi研究所の論文著者

関連著者

• 佐藤 芳之

  Ntt Lsi研究所

• 今井 和雄

  NTT LSI研究所

• 荒井 英輔

  NTT LSI研究所

• 町田 克之

  Nttシステムエレクトロニクス研究所

• 鴨志田 和良

  Ntt Lsi研究所

• 佐久間 一人

  NTT LSI研究所

• 町田 克之

  NTT LSI研究所

著作論文

• ECR O_2プラズマを用いたシリコンコンタクト表面清浄化の検討
• SOI構造における酸化膜/シリコン界面への燐のパイルアップ現象とnウェル濃度シミュレーション
• 酸化膜/シリコン界面での燐のパイルアップ現象の解析とnウェル濃度シミュレーション

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