濱村 浩孝 | 日立製作所中央研究所

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概要

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• 日立製作所中央研究所の論文著者

関連著者

• 石田 猛

  日立製作所 中央研究所

• 峰 利之

  日立製作所 中央研究所

• 峰 利之

  (株)日立製作所中央研究所

• 鳥居 和功

  日立製作所中央研究所

• 鳥居 和功

  日立・中研

• 濱村 浩孝

  日立製作所中央研究所

• 峰 利之

  日立製作所中央研究所

• 石田 猛

  日立製作所・中央研究所

• 鳥居 和功

  日立製作所 中央研究所

著作論文

• Si_3N_4/Si-rich Nitride(SRN)/Si_3N_4積層膜の電子捕獲特性(ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)

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