角南 英夫 | 広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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概要
関連著者
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角南 英夫
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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吉川 公麿
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist
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半導体mirai-asrc-aist
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Hiroshima Univ. Higashi‐hiroshima Jpn
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安藤 博士
広島大学大学院先端物質科学研究科
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Kikkawa Takamaro
Advanced Semiconductor Research Center (asrc) National Institute Of Advanced Industrial Science And
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鈴木 道夫
日立プラント建設サービス(株)
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鈴木 道夫
日立プラント建設 (株) 空調プラント事業本部
著作論文
- ハイパーブレイン実現を目指した無線インタコネクションを用いた三次元集積技術(VLSI一般(ISSCC2005特集))
- ウェハ保管環境の MOS デバイス特性への影響
- シリコン熱酸化膜のホットエレクトロン耐性に及ぼす有機ガス汚染の影響
- 真のLSI材料革命とは
- ULSIの将来展望と高分子材料への期待
- 次世代集積回路と製造ライン -今後のデバイス展望と300mmウエハ製造ラインの動向-