音響整合層付き4分割150kHz PZT圧電セラミック振動子を用いた超音波照射システムによるナノダイヤモンド微粒子の分散性改善に関する研究 (特集 マイクロ・ナノバブル(2)マイクロバブルとソノプロセス)

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