化学製膜ZnOを中間層として用いたガラス基板上Cu薄膜の加熱処理による密着性向上 (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
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概要
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- 2006-10-26
著者
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伊崎 昌伸
大阪市立工業研究所
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伊崎 昌伸
豊橋技術科学大学 機械工学系
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伊崎 昌伸
豊橋技術科学大学
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伊崎 昌伸
大阪市立工業研究所 無機化学課
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伊崎 昌伸
大阪市工研
-
IZAKI Masanobu
Osaka Municipal Technical Research Institute
-
Izaki M
Osaka Municipal Technical Research Intitute
-
伊崎 昌伸
Department Of Production Systems Engineering Toyohashi University Of Technology
-
伊崎 昌信
Department Of Inorganic Chemistry Osaka Municipal Technical Research Institute
-
片山 順一
奥野製薬工業
-
Izaki Masanobu
Department Of Production Systems Engineering Toyohashi University Of Technology
-
伊崎 昌伸
豊橋技術科学大学 大学院工学研究科
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