超臨界二酸化炭素を用いたナノプレーティング (新春特集 ナノテクノロジーのための超臨界流体技術)
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概要
著者
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曽根 正人
東京工業大学 精密工学研究所
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曽根 正人
東京工大 精密工研
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SONE Masato
Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology
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Sone Masato
Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan
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