29p-V-3 化学増幅系レジストのPAG構造依存性(2)

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概要

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• 1997-03-28

著者

• 井谷 俊郎

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 吉野 宏

  NEC ULSIデバイス開発研究所 微細加工技術開発部

• 橋本 修一

  NEC ULSIデバイス開発研究所 微細加工技術開発部

• 山名 慎治

  NEC ULSIデバイス開発研究所 微細加工技術開発部

• 佐本 典彦

  NEC ULSIデバイス開発研究所 微細加工技術開発部

• 笠間 邦彦

  NEC ULSIデバイス開発研究所 微細加工技術開発部

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