超臨界/亜臨界水雰囲気下でのGeO<SUB>2</SUB>とPtの反応
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概要
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ゲルマニウムは電子や空孔の易動度が高いためICへ応用されたり, またその化合物がGaAsデバイスのオーム抵抗に利用されるなどして注目されている.ゲルマニウムと他金属間の反応について, HsiehとChenはエッチングしたGeウエハー上に室温・10<SUP>-6</SUP>mmHgにおいて白金を30mmの厚さにスパッタリングし, これをN<SUB>2</SUB>気流中で160℃〜400℃に加熱することによりPt<SUB>2</SUB>Ge, PtGe, Pt<SUB>2</SUB>Ge<SUB>3</SUB>, PtGe<SUB>2</SUB>ができることを報告している.一方, 我々はGeO<SUB>2</SUB>が超臨界/亜臨界水にわずかに溶解することを利用して, その雰囲気下でPtとGeの反応を行いPt<SUB>2</SUB>Ge, Pt<SUB>2</SUB>Geをつくることができたので以下に報告する.
- 社団法人 化学工学会の論文
著者
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若尾 法昭
横浜国立大学工学部
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船造 俊孝
横浜国立大学工学部物質工学科
-
西川 英一
横浜国立大学工学部 物質工学科
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島田 保昌
横浜国立大学工学部 物質工学科
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船造 俊孝
横浜国立大学工学部 物質化学工学科
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