研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性
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概要
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- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学大学院 金属材料学,東京大学生産技術研究所第4部,工業技術院電子技術総合研究所の論文
- 1980-01-01
著者
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