2-7 FFTによる電顕画像の非点収差検出
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概要
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超高圧電子顕微鏡の非点収差および焦点の調節は、現在各種動作状態の写真をとり、その結果を光学的フーリエ変換などによって評価しながら、いわば手さぐりで行なっているため貴重な使用時間を浪費している。ここでは将来のオンライン調節をめざして、まず非点収差を表わすパラメータを画像処理により推定する。2.空間周波数領域での非点収差検出原画像のフーリエ像を、あるしきい値で切った切断面は、ほぼ楕円の領域になる。よって、これを代表するような楕円で非点収差をあらわすことにする。ここでは有効な領域のデータに重み付けを行ない、重みとして、パワーとその対数とを試みた。楕円のパラメータ推定は次の2方法で行なった。
- 1981-06-20
著者
-
尾上 守夫
東京大学生産技術研究所
-
曽根 光男
東京大学生産技術研究所
-
石田 洋一
東京大学生産技術研究所
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鯉沼 秀臣
(独)科学技術振興機構 研究開発戦略センター
-
曽根 光男
東京大学生産技術研究所(現在 富士通株式会社)
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