高温イオン注入により形成したFe ナノ粒子を種とした新しいカーボンナノチューブ成長法の研究
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概要
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We have investigated a new procedure of carbon nanotube (CNT) growth from Fe nano-particles formed by hot ion implantation at 600 and 1000˚C in a thermally grown SiO2 layer. An advantage of this method is that the size and the density of the nano-particles are readily controlled by the conditions of ion implantation. We found in the present study that the cluster formed by the 600˚C implantation had a significantly uniform size with an average diameter of 2.6 nm and standard deviation of 0.6 nm. On the other hand, the size distribution of the 1000˚C-implanted sample was slightly scattered around 3-13 nm. The cluster size mainly depends on the substrate temperature during implantation. We clearly observed some CNTs in the 1000˚C-implanted sample treated by a micro wave-plasma-enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) method. The region where CNTs were observed was limited to a narrow area however. In contrast, no CNT structure was observed in the 600˚C-implanted sample. Carbon nano-wall (CNW) was grown on a bare SiO2 layer by the MPCVD method. It is suggested that CNW growth is responsible for radical species of hydrocarbons generated by irradiated micro wave.
- 2010-06-30
著者
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