高温イオン注入形成Fe微粒子からの単層CNT成長―マイクロ波プラズマCVD条件の検討―

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概要

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• 2010年度神奈川大学総合理学研究所共同研究助成論文We have studied a novel procedure of carbon nanotube (CNT) growth from nanoparticles formed by hot-ion implantation in a SiO2/Si structure. An advantage of this method is that size and the density of the nanoparticles are easily controlled by the conditions of ion implantation. We performed single-walled CNT (SWCNT) growth from Fe-implanted SiO2/Si samples by microwave-plasma-enhanced chemical vapor deposition (MPCVD). Micro Raman spectra observed for the sample treated by MPCVD for 1 min clearly show the presence of SWCNTs.

• 2011-06-30

著者

• 星野 靖

  神奈川大理

• 有馬 広記

  神奈川大理

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