31a-T-3 単色陽電子線を用いた半導体のイオン注入に伴う欠陥分布とその欠陥種の決定(31aT 格子欠陥)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1989-03-28

著者

• 上殿 明良

  筑波大物質

• 松近 敬行

  筑波大物質工

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質

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