3p-D4-7 単色低速陽電子線を用いたSiのB、As、Pイオン注入に伴う欠陥深さ分布の測定(放射線物理)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1988-03-31

著者

• 上殿 明良

  筑波大物質

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質

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