レーザ変位計を利用したサンプルの3次元形状観察システムの試作
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概要
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電気接点表面にアーク放電によって生じる転移・消耗形状を観察・評価する目的で、レーザ変位計を利用した3次元形状観察システムの構築を試みている。具体的には、観察対象のサンプルを自動ステージ上に搭載し、所定のシーケンスでサンプルとともにステージを移動させながら、上方に設置したレーザ変位計でサンプル表面までの距離を側定する。その後に、得られたデータを処理することで、サンプルの3次元形状イメージを描画するとともに、数値的な計側データを得る。今回は、このシステムの概要を紹介するとともに、アークによる消耗クレータか形成された電気接点、溶融させたはんだサンプルの形状などの観察に適用した一例を紹介する。
- 2013-01-18
著者
-
長谷川 誠
千歳科学技術大学
-
高橋 佳佑
千歳科学技術大学光科学部光応用システム学科
-
高橋 佳佑
千歳科学技術大学大学院光科学研究科光科学専攻
-
高橋 佳佑
千歳科学技術大学 光科学部 光応用システム学科
-
河村 大地
千歳科学技術大学総合光科学部グローバルシステムデザイン学科
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