3p-G1-3 高周波放電の電子温度の軸方向分布(放電)
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 1988-03-31
著者
-
大沢 敦
東京電機大学
-
金田 輝男
東京電機大
-
金田 輝男
東京電機大学
-
大内 幹夫
東京電機大
-
窪田 忠弘
東京電機大学
-
Chang J.s.
Mcmaster University
-
Chang J.S.
McMaster Univ.
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