27a-EC-5 Ar-NH_3分子線プラズマの理論解析と質量分析実験(放電)
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 1987-03-27
著者
-
小野 茂
武蔵工業大学
-
山田 正文
武蔵工業大学
-
Chang J.s.
Mcmaster University
-
堤井 信力
武蔵工業大学
-
鈴木 一広
武蔵工業大学
-
羽山 雅英
武蔵工業大学
-
Chang J.S.
McMaster Univ.
-
Chang J.S.
McMASTER大学
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