プラズマCVD法によるa-SiGe膜の物性と製膜時のプラズマ特性
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 27a-ZH-8 プローブ汚染の定量化と測定における信頼性の検討
- 4p-C4-12 反応性ガスプラズマのプラズマパラメータ変動の測定
- 6a-KT-4 電子エネルギー分布関数測定器の試作
- 27a-ZH-6 RFプラズマの周波数依存性
- 3p-TC-3 デジタルトリプルプロプによる電子温度の観測
- 2a-Q-4 変動のあるプラズマのダブルプローブ特性 III
- 4p-P-8 変動のあるプラズマのダブルプローブ特性
- 30a-QE-10 遷移領域のダブルプローブ特性
- 4a-H-8 中間気圧プラズマの複探針特性
- 3p-H-5 Ar-CH_4混合ガス放電陽光柱の数値モデル
- 3p-H-4 Ar-NH_3混合ガス放電陽光柱の数値モデル
- 4p-I-8 Ar-SiH_4混合ガス陽光柱放電の数値モデル
- 4p-I-8 Ar-SiH_4混合ガス陽光柱放電の数値モデル
- 2p-SE-8 プラズマの絶縁耐力
- 2p-SE-8 プラズマの絶縁耐力
- 新しい時代に向けてのプラズマの歩み
- 大気圧コロナトーチによる高分子材料の表面改質
- 大気圧コロナトーチとそのプラスチック表面処理への応用
- 白金細線による酸素-窒素混合ガスプラズマ中の酸素ラジカル密度測定
- 自己吸収法を用いた窒素準安定励起分子密度の測定
- マイクロ波H_2Oプラズマを用いたポリエチレンの分解
- 大気圧RFコロナトーチによるPETの表面改質
- 白金細線を用いたプラズマ中酸素原子密度センサーの開発
- 大気圧コロナトーチによるプラスチックの表面改質
- マイクロ波H_2Oプラズマを用いたポリエチレンの分解処理
- 自己吸収法を用いた窒素準安定励起分子密度の測定
- 大気圧コロナトーチによるプラスチックの表面改質に関する研究
- プラズマCVD法によるa-SiGe膜の物性と製膜時のプラズマ特性
- マイクロ波H_2Oプラズマを用いた廃棄プラスチック処理
- 減圧窒素及び空気コロナ放電のプラズマパラメータ
- トリプルプローブを用いた大気圧窒素プラズマジェットの瞬時測定
- プラズマジェット照射したSUS304鋼のエポキシ樹脂との密着性に関する研究
- 減圧窒素アークプラズマの振動温度及び回転温度の測定
- プラズマ処理によるSUS304鋼板とエポキシ樹脂間の密着性
- トリプルプローブによる細線放電アークプラズマの測定
- 4a-NN-3 同軸円筒拡散プラズマ中の電子・準安定原子及び電子温度分布
- 2a-T-8 パルスアフターグローの研究
- 30p-T-1 Ne-Ar混合ガス陽光柱における準安定性原子密度の測定
- 3p-N-8 空間再結合を考慮した矩形陽光柱の解析
- 3p-N-7 Ar陽光柱における準安定原子密度の測定
- 10a-U-7 同軸円筒型拡散プラズマの密度分布
- 窒素プラズマジェットを用いた金属-樹脂間の密着性の改善
- 26a-L-8 シラン電子衝突による中性ラジカル生成機構
- 3a KJ-9 同軸円筒型拡散プラズマ装置による再結合係数の測定 II
- 5p-AC-9 同軸拡散プラズマ装置による再結合係数の測定
- 反応スパッタ法によるAlNの生成特性
- ICP処理SUS304とエポキシ樹脂間の密着性
- 29p-YC-10 プラズマトーチによる金属表面処理
- 電子ビーム励起プラズマによる微結晶シリコンの製膜
- プラズマCVD中の入射イオンエネルギーのa-Si系膜に与える影響
- 3a-TC-5 光ガルバノ法による酸素ホロー陰極型放電中の負イオン測定
- ロケット搭載用窒素振動温度計測器の開発に関する基礎研究
- 高度100km付近の窒素振動温度、回転温度、およびその密度
- 観測ロケット搭載用窒素振動温度観測器
- 2a-TF-11 惑星科学実験用プラズマアーマチャーレールガンの開発
- 酸素プラズマ中における白金プローブの赤熱現象
- 2p-Q-7 プラズマトーチによる窒化鉄膜の合成
- 4a-P-3 プロセス用プラズマトーチの諸特性
- 5a-C4-4 荷電粒子のサンプリング特性と電磁界中での振舞いII
- プローブによる放電プラズマ中の負イオン密度の測定
- 25p-E-4 プローブ汚染の放電パラメータ依存性に対する検討
- 10a-U-6 連続媒質プラズマ中における円筒プローブの実験
- 6a-H-2 連続媒質中の回転楕円体プローブ理論
- 4p-G-11 軌道運動領域における三探針理論の検討
- 酸素陽光柱プラズマに対するガス希釈効果の検討
- 30a-QE-9 流れグロー放電プラズマの数値解析と実験
- 3p-SA-2 衝撃波加熱Ar-CO混合ガス分子線中での振動準位の緩和
- 酸素プラズマにおける白金プローブの赤熱現象
- 静電プローブを用いたプラズマジェットの流速分布測定
- 2p-A-4 静電プローブによるプラズマジェットの流速測定
- 4p-G-12 中間気圧プラズマにおけるRFプローブ法
- 12p-P-14 Rfプローブによるプラズマ空間電位の測定
- 28a-YT-5 O_2-N_2混合ガス放電プラズマの基礎特性
- 窒素-アルゴン混合ガスプラズマジェットを用いた窒化ホウ素薄膜生成法における成膜機構
- 低電流細線アーク放電プラズマの分光測定
- 窒素-アルゴン混合ガスプラズマジェットによる窒化ホウ素薄膜の生成
- 低電流細線アーク放電プラズマの諸特性
- 減圧下におけるプラズマジェット内の振動温度
- 2p-A-5 窒素プラズマトーチの振動温度測定
- 窒素プラズマジェット中における電子の再加熱現象 (熱プラズマ)
- 13a-DG-12 He-O_2陽光柱プラズマの諸特性
- 13a-DG-10 窒素プラズマジェット内の振動エネルギー分布
- 28p-ZE-5 プラズマジェット内窒素分子の振動温度
- 28p-ZH-2 プラズマトーチにおける分子振動励起の効果に関する検討
- 3p-TC-8 減圧下に於けるプラズマトーチの諸特性
- 27p-H-3 中間気圧グロー放電プラズマ流動床炉の諸特性
- 4a-H-3 低気圧N_2放電プラズマの振動温度
- 4p-I-9 分子ガスプラズマ中における負イオン過程の電子温度への影響II
- 4a-RA-3 混合分子ガス放電中の振動温度
- 13a-DF-5 分子ガスプラズマ中における負イオン過程の電子温度への影響
- 29a-T-7 放電励起Co_2レーザ中の諸反応過程
- 1a-T-8 窒素放電中の振動エネルギー分布
- 1p-LA-11 窒素アフタグロー中での準安定粒子のふるまい。
- 5a-P-12 CO_2レーザプラズマの軸方向電子エネルギー分布
- 8a-C-6 パラボラ反射面を用いた弱電離小直径プラズマのマイクロ波測定 (II)
- 4p-G-10 パラボラ反射面を用いた小直径弱電離プラズマのマイクロ波測定
- 30p-T-6 同軸円筒拡散プラズマによる再結合係数の測定 IV
- 5a-NT-8 改良形トリプルプローブの試作 III
- 1a-T-2 改良型トリプルプローブ測定器の試作 II
- 3a-D-1 改良型トリプルプローブ測定器の試作