4p-I-8 Ar-SiH_4混合ガス陽光柱放電の数値モデル
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1984-09-10
著者
-
堤井 信力
武蔵工大
-
松村 昭作
武蔵工大
-
松村 昭作
武蔵工業大学
-
Chang J.S.
McMaster大
-
桜井 敬二
武蔵工大
-
Berezin A.A
McMaster大
-
Hobson R.M.
York大
-
Chang J.s.
Mcmaster University
-
Chang J.S.
McMaster Univ.
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- 武蔵工業大学工学部電気電子工学科プラズマ研究室