山田 正文 | 武蔵工業大学

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概要

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著作論文

• 27p-H-10 高周波放電Ar-NH_3分子線プラズマの諸特性
• 27a-EC-5 Ar-NH_3分子線プラズマの理論解析と質量分析実験(放電)

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