1A2-C06(1) バイオ化学ICチップ用ガラス製3次元微細流路の作製(ナノ・マイクロ流体システム)
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概要
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We have been developing Bio-chemical IC chip-set made of glass that has three dimensional micro-channel structures in order to make micro chemical device for biotechnology. In this paper, we report improvement of fabrication accuracy by regulating etching process of the photosensitive glass.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-05-26
著者
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