インクジェット法で形成した銀ナノ粒子電極を有するボトムコンタクト型有機TFTのコンタクト抵抗
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概要
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近年、低温(150℃以下)で低抵抗な導電膜が得られる銀ナノ粒子インクの開発が進んでおり、銀ナノ粒子電極を有機半導体と組み合わせた集積回路に関する研究開発が活発に行われている。集積回路等の高性能化には銀ナノ粒子電極と有機半導体とのコンタクト抵抗の低減が非常に重要となる。本研究では、銀ナノ粒子インクを用いてインクジェット装置により電極配線を形成し有機薄膜トランジスタ(TFT)を作製した。銀ナノ粒子電極と有機半導体層のコンタクト抵抗をトランスファーライン法により評価した。銀ナノ粒子電極の焼成条件を最適化することで、ゲート電圧が-20Vにおいて113kΩcmと低いコンタクト抵抗を実現した。
- 2012-08-01
著者
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熊木 大介
山形大・理工学研究科
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時任 静士
山形大学有機エレクトロニクス研究センター
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熊木 大介
山形大学有機エレクトロニクス研究センター
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南木 創
山形大学大学院理工学研究科
-
小林 悠
山形大学工学部
-
福田 憲二郎
山形大学有機エレクトロニクス研究センター
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時任 静士
山形大学大学院:山形大学有機エレクトロニクス研究センター
-
小林 悠
山形大学大学院理工学研究科
-
竹田 泰典
山形大学大学院理工学研究科
-
菅野 亮
山形大学大学院理工学研究科
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福田 憲二郎
山形大学大学院:山形大学有機エレクトロニクス研究センター
-
熊木 大介
山形大学大学院:山形大学有機エレクトロニクス研究センター
-
福田 憲二郎
山形大学大学院理工学研究科:山形大学有機エレクトロニクス研究センター
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