銅電極を用いたボトムコンタクト型有機TFTの高性能化

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概要

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有機薄膜トランジスタ(OTFT)のソース・ドレイン電極には、一般的に安定で取り扱いやすいAu電極が使用されている。そのため、フレキシブルディスプレイをはじめとした応用デバイスへの実用化を考える場合、コストが課題となる。そこで、安価で汎用的なCu電極を用いて高性能なOTFTを実現する必要がある。これまでに我々は、実用的なCu電極をソース・ドレイン電極としたボトムコンタクト型OTFTにおいて、Cu電極のパターニングプロセスの最適化を行うことで良好なトランジスタ特性を実現している。本研究では、電極からの電荷注入が容易な有機半導体を用いることで、ヒステリシスを低減できるとともに良好な伝達特性を得たので報告する。
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2012-08-01

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