同軸プローブに基づいた複素電磁パラメータの測定に関する一検討(シミュレーション技術,一般)

概要

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フランジ付き先端開放同軸プローブを用いて、高損失材料からの複素反射係数を測定することにより、材料の複素誘電率と複素透磁率を同時に求める方法は非破壊測定方法の一つとして注目されている。しかし、この方法において、同軸プローブと測定試料との密着が必須であり、試料表面の粗さによるプローブと試料表面の間の非常に薄い空気隙間存在すると、複素材料定数の測定に大きな影響を与える。本稿では、先ず、空気隙間の複素反射係数の振幅および位相へのそれぞれの影響を調べ、隙間は反射係数の位相への影響が振幅への影響より3倍以上大きいという結論が得られた。更に、従来の複素材料定数を同時に測定するための「膜厚変化法」が誤差の大きい位相特性も必要である不利な点を改善するため、より高いロバスト性を持つ「スカラー反射係数(振幅)に基づいた膜厚変化法」を提案し、検討した。先ず、スペクトル領域法を用いて、複素電磁パレメータと反射係数の関係式を導出した。次に、自働測定システムの構成を示し、測定試料の厚さの選択について検討した。最後に、同一の試料において、いくつかの厚さの組み合わせに基づいて、実際に測定を行い、提案した手法の有効性及び妥当性を検証した。
2012-05-25

同軸プローブに基づいた複素電磁パラメータの測定に関する一検討(シミュレーション技術,一般)

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