エアロゾルデポジション法を用いた酸化物熱電厚膜の形成と熱電特性(光記録技術・電子材料,一般)
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概要
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エアロゾルデポジション(AD)法によりCa_3Co_4O_<9+δ>系酸化物熱電膜を形成し,得られた膜の組織及び熱電特性の評価を行った.基板との熱膨張差の影響を調査した結果,約0.2%未満の熱歪みであれば,剥離やクラックを生じないことがわかった.吹き付ける微細粉の粒径を整えることにより約2μm/minの成膜速度が得られ,熱処理によりc-軸配向した熱電膜を得ることができた.得られた膜を900℃で1h熱処理した結果,700℃でゼーベック係数約S=170(μV/℃),導電率σ=110(S/cm)が得られ,従来の代表的なバルク試料と同等の特性を示した.よってAD法は厚膜状の熱電モジュール作製プロセスとして有望であることがわかった.
- 2011-09-09
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