C09 ピエゾ駆動ステージによる高付加価値微細パターン加工の検討(OS11 超精密加工(2))
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概要
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In die production of seat and film for optics aimed for diffusion, demands of high precision machining increase to make three-dimensional micro-pattern, recently. When irregular micro-pattern is processed by piezo-dirve stage with the cutting tool, there is the problem that a cutting tool contact, because it is impossible with a random command signal by noise to predict a tool trace. In this study, it tried to examine an effect by machining designed complicated micro-pattern.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-11-19
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