C07 超音波振動子用圧電単結晶の超精密研削(OS11 超精密加工(2))
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概要
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The lead magnesium niobate-led titanate (PMN-PT) piezoelectric single crystals were ground by a ultra-precision surface grinder with various cup-type resinoid-bonded diamond wheels under a wide range of grinding conditions in order to obtain thin plates for ultrasonic transducers. As a result, thin PMN-PT crystal samples of 4μm thickness were obtained by this grinding process.
- 2010-11-19
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