Precision Machining of Electroless Nickel Mandrel and Fabrication of Replicated Mirrors for a Soft X-Ray Microscope(Ultra-precision machining)
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概要
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An X-ray microscope is a very useful tool to investigate nanometer-scale fine structure in biological applications. We consider the Wolter type I aspheric mirror which is a key optical element in the X-ray microscope and requires a super smooth surface and a highly accurate figure. This paper deals with the fabrication of soft X-ray microscope mirrors by a replication method. Precise aspheric gold mirrors were obtained from a master mandrel successfully.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-10-18
著者
-
NAMBA Yoshiharu
Department of Mechanical Engineering, Chubu University
-
難波 義治
中部大学工学部
-
難波 義治
中部大学工学部機械工学科
-
Yoon Kwon-ha
Institute For Radiological Imaging Science Wonkwang University
-
CHON Kwon
Department of Mechanical Engineering, Chubu University
-
Namba Yoshiharu
Department Of Mechanical Engineering Chubu University
-
Chon Kwon
Department Of Mechanical Engineering Chubu University
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