208 X線望遠鏡用Pt/C多層膜レプリカ反射鏡の離型・転写特性(OS6 超精密加工)
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概要
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This paper deals with the separation of Pt/C multilayer from an electroless nickel mandrel for making replicated hard X-ray telescope mirrors. There is no example of this technology in the world, though the separation of Pt/C multilayer from glass cylinders can be successfully operated. Using an intermediate layer between the electroless Ni mandrel and Pt layer, the separation has succeeded. The surface roughness of 0.12nm Ra was obtained on replicated Pt/C multilayer surface, which was left from the polished electroless Ni plate of 0.11 nm Ra in surface roughness. Conical Pt/C multilayer X-ray mirrors can be obtained using Ti thin layer as an intermediate layer.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
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