25pWY-3 Pt/Ti基板上に成膜させたPZTの構造・誘電評価(25pWY 薄膜・酸化物系,領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2010-08-18

著者

• 上江洲 由晃

  早大先進理工

• 上江洲 由晃

  早稲田大学理工

• 上江洲 由晃

  早稲田理工

• 上江州 由晃

  早大理工

• 横田 紘子

  東大工

• 西原 義也

  早大先進理工

• 上江洲 由晃

  早稲田大学先進理工学研究科

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