224 酸化皮膜を有するシリコンウェハ内へのキャビテーション噴流による酸化誘起積層欠陥の導入(流体工学IV)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-15
著者
-
祖山 均
東北大・工
-
甲斐 彰
東北大学大学院工学研究科
-
甲斐 彰
東北大学大学院工学研究科:(現)熊本県産業技術センター生産技術部
-
Soyama Hitoshi
Associate Professor Department Of Engineering Tohoku University
-
祖山 均
東北大学
-
祖山 均
東北大
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