キャビテーション噴流により導入したバックサイドダメージの評価(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-07-20
著者
-
祖山 均
東北大・工
-
Soyama Hitoshi
Associate Professor Department Of Engineering Tohoku University
-
熊野 弘之
東北大
-
祖山 均
東北大
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