21403 後工程で形成したキャビティによる高速クロック信号の分配方法(デバイス&配線技術1,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
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概要
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A novel method using a cavity to deliver a high frequency clock in ULSI systems is discussed. This method can distribute global clock over 10GHz without skew and EMI noise. The cavity could be fablicated by three-dimensional pakage technology, an emmerging BEOL (back-end-of-line) process. The system provide an example to give BEOL technology a high-performance feature by adding a passive microwave device. Because the cavity thickness would be thin, the influence of the energy dissipation on the cavity walls is analysed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-13
著者
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