103 10nm程度の厚さを有する層間絶縁膜に生じる亀裂の分子動力学を用いた解析(機械材料・新素材I)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-10-19

著者

• 加藤 初弘

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

• 加藤 初弘

  山梨大学

• 龍田 昂

  山梨大院

• 加藤 初弘

  山梨大

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