空間光アドドロップ導波路配線を用いた0.5Gbit/s信号伝送実験(電磁界理論)
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概要
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ボード内チップ間の超広帯域信号伝送システムとして薄膜光導波路と波長多重技術を用いた光配線を検討している.光導波路配線を集積したボード上にチップと受発光素子アレーを実装し,導波路面に垂直に入出力する空間光を波長多重的にアドドロップする構成である.空間光との入出力結合には集光グレーティングカプラ(FGC)を用い,波長アドドロップには分布ブラッグ反射器(DBR)を用いる.これまでに波長アドドロップ機能を確認しているが挿入損が大きく(30dB),信号伝送実験に至っていなかった.今回,導波路の屈折率プロファイルを見直した.FGCの屈折率変調を得るため使用しているSi-N高屈折率層が導波路全面に残っていたが,高屈折率層は散乱損や波長多重幅を狭める要因となる.そこで,Si-N層をFGC領域のみに限定する構造を検討した.リフトオフ法によりSi-NをFGC領域に埋め込む作製プロセスを確立し,挿入損を19dBまで低減した.作製した試料を用いて単一チャネル当り0.5Gbit/sの信号伝送を実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-11-01
著者
-
佐藤 了平
大阪大学先端科学イノベーションセンター
-
金高 健二
(独)産業技術総合研究所
-
裏 升吾
京都工芸繊維大学
-
篠田 浩司
京都工芸繊維大学
-
佐藤 了平
大阪大学・先端科学イノベーションセンター
-
西原 浩
放送大学大阪学習センター
-
堀井 篤
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
-
堀井 篤
京都工芸繊維大学
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