チップ間波長多重光配線用異周期DBRの一括干渉露光(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
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概要
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ボード内チップ間波長多重超広帯域光配線のために, 異なる周期の複数の分布ブラッグ反射器(DBR)を, 周期微調可能な干渉露光を用いて薄膜光導波路に集積することを検討している.今回, ロイドミラー干渉光学系にポリゴンミラーを用いた場合と, 円柱ミラーを用いた場合を検討した.8mm内に集積した8個のDBRで, 約3.0nm間隔の8波長を結合効率80%以上, クロストーク雑音-10dB以下で合分波機能を得られるように設計した.ポリゴンミラー方式においても±5%程度の周期微調が期待できる.円柱ミラー方式では周期チャープによる反射特性の劣化が危惧されたが, それでも2回露光により上記要求を満足できるDBRを作製できることを明らかにした.
- 2006-01-24
著者
-
西尾 謙三
京都工芸繊維大学工芸学部
-
金高 健二
(独)産業技術総合研究所
-
裏 升吾
京都工芸繊維大学
-
山口 智史
京都工芸繊維大学
-
堀井 篤
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
-
西尾 謙三
京都工芸繊維大学
-
山口 智史
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
堀井 篤
京都工芸繊維大学
-
麻田 卓男
京都工芸繊維大学
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