17aB07 モノメチルシランの気相熱分解化学反応における塩化水素の効果(半導体エピ(2),第35回結晶成長国内会議)
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概要
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Chemical reactions of monomethylsilane (MMS) are studied using a rapid thermal processing reactor, particularly focusing on the thermal decomposition and the reactions with HCl gas. HCl gas is found to chlorinate MMS and its decomposed species to lower the silicon deposition rate and adjust the composition of SiC film.
- 2005-08-17
著者
-
竹内 隆
横浜国立大学工学部物質工学科化学システム工学
-
相原 雅彦
横浜国立大学工学部
-
羽深 等
横浜国立大学大学院
-
西田 幹也
横浜国立大学大学院工学研究院
-
関口 貴志
横浜国立大学大学院工学研究院
-
相原 雅彦
横浜国立大学大学院工学研究院
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