2607 基板上に形成された強誘電体薄膜の圧電応答に関する数値解析的検討(OS26.並列・マルチスケール計算手法の開発と応用(2),ポスターセッションP-2)
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概要
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In order to characterize piezoelectric thin films fabricated on silica substrate, the relation between displacement response and piezoelectric strain constants have been analyzed by finite element method. Pseudo-piezoelectric strain constant was investigated when an electric load was applied to piezoelectric thin film by disc-type electrode. And then, a displacement measuring condition to reduce size dependence was searched by using two parameters, which are the thickness of piezoelectric thin film and the radius of top electrode. Computational results indicated that piezoelectric strain constant d_<33> of thin film has good correlation and its value can be identified with displacement response under the appropriate measuring condition.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-11-25
著者
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