PS41 圧電セラミックスのEBSD結晶方位分析とマルチスケール解析への適用(ポスターセッション)
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概要
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圧電セラミックスの結晶形態を考慮したマルチスケールモデリングを目的として,EBSD(後方散乱電子回折)による圧電多結晶体の結晶方位解析をSEM(走査型電子顕微鏡)により実施した.本報では,良好な結晶方位計測データを得るために帯電防止膜として非晶質な酸化オスミウムを採用した.また,チタン酸バリウム多結晶体に対して得られた結晶方位データをマルチスケール有限要素解析に適用し,結晶方位配向度,マクロ均質化特性値に着目して代表体積要素を検討した.
- 2008-09-16
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