619 不純物ドーピングされたULSIセル内に蓄積される転位の数値的評価(OS06.材料の組織・強度に関するマルチスケールアナリシス(5))
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-11-25
著者
-
大橋 鉄也
北見工業大学
-
大橋 鉄也
北見工大
-
丸泉 琢也
武蔵工業大学電気電子工学科
-
北川 功
(株)日立製作所基礎研究所
-
佐藤 満弘
北見工業大学機械工学科
-
佐藤 満弘
北見工大
-
丸泉 琢也
武蔵工大
-
北川 功
日立基礎研
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