739 温度降下により ULSI セル内に発生する転位のシミュレーション

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-11-22

著者

• 大橋 鉄也

  北見工大

• 佐藤 満弘

  北見工業大学機械工学科

• 佐藤 満弘

  北見工大

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